ASMLs Twinscan NXE:3800E systemytelsesforbedringer

I følge 2021-versjonen av veikartet utgitt av ASML, vil Twinscan NXE:3800E-systemet ha betydelige forbedringer i justeringsnøyaktighet og produksjonskapasitet sammenlignet med forrige generasjon 3600D, med en gjennomstrømning på opptil 195 wafere per time, som er høyere enn de 160 skivene av 3600D Nesten 22%, og forventes å nå målet på 220 stykker.