Izboljšave delovanja sistema ASML Twinscan NXE:3800E

V skladu z različico načrta za leto 2021, ki jo je izdal ASML, bo sistem Twinscan NXE:3800E v primerjavi s prejšnjo generacijo 3600D občutno izboljšal natančnost poravnave in proizvodno zmogljivost, s pretokom do 195 rezin na uro, kar je več kot 160 rezin 3600D skoraj 22 % in naj bi dosegli cilj 220 kosov.