Подобрения в производителността на системата Twinscan NXE:3800E на ASML

Според версията на пътната карта за 2021 г., публикувана от ASML, системата Twinscan NXE:3800E ще има значителни подобрения в точността на подравняване и производствения капацитет в сравнение с предишното поколение 3600D, с пропускателна способност до 195 пластини на час, което е по-високо от 160-те вафли на 3600D Близо 22% и се очаква да достигне целта от 220 броя.