Покращення продуктивності системи ASML Twinscan NXE:3800E

Згідно з версією дорожньої карти на 2021 рік, опублікованою ASML, система Twinscan NXE:3800E матиме суттєві покращення в точності вирівнювання та виробничій потужності порівняно з попереднім поколінням 3600D, з пропускною здатністю до 195 пластин на годину, що є збільшенням порівняно з системою 3600D попереднього покоління. 160 пластин 3600D Майже 22%, і очікується досягнення цільового показника в 220 штук.