Az ASML Twinscan NXE:3800E rendszer teljesítménybeli fejlesztései

80
Az ASML által kiadott ütemterv 2021-es verziója szerint a Twinscan NXE:3800E rendszer az előző generációs 3600D-hez képest jelentős javulást fog elérni az igazítási pontosságban és a gyártási kapacitásban, óránként akár 195 ostya áteresztőképességével, ami magasabb, mint a a 3600D 160 ostyája közel 22%, és várhatóan eléri a 220 darabot.