Poboljšanja performansi sustava ASML Twinscan NXE:3800E

Prema verziji plana za 2021. koju je objavio ASML, sustav Twinscan NXE:3800E imat će značajna poboljšanja u točnosti poravnanja i proizvodnom kapacitetu u usporedbi s prethodnom generacijom 3600D, s propusnošću do 195 pločica po satu, što je više od 160 pločica 3600D gotovo 22%, a očekuje se da će dosegnuti cilj od 220 komada.