ASML-i Twinscan NXE:3800E süsteemi jõudluse täiustused

Vastavalt ASML-i avaldatud tegevuskava 2021. aasta versioonile parandab süsteem Twinscan NXE:3800E joondustäpsust ja tootmisvõimsust oluliselt võrreldes eelmise põlvkonna 3600D-ga, läbilaskevõimega kuni 195 vahvlit tunnis, mis on suurem kui 3600D 160 vahvlit peaaegu 22% ja eeldatavasti saavutab see 220 tükki.