Cải tiến hiệu suất hệ thống Twinscan NXE:3800E của ASML

Theo phiên bản 2021 của lộ trình do ASML đưa ra, hệ thống Twinscan NXE:3800E sẽ có những cải tiến đáng kể về độ chính xác căn chỉnh và năng lực sản xuất so với thế hệ 3600D trước đó, với công suất lên tới 195 tấm wafer mỗi giờ, tăng so với mức hiện tại. 160 tấm wafer của 3600D Gần 22% và dự kiến ​​sẽ đạt mục tiêu 220 tấm.