การปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบ Twinscan NXE:3800E ของ ASML

ตามแผนงานเวอร์ชันปี 2021 ที่เผยแพร่โดย ASML ระบบ Twinscan NXE:3800E จะมีการปรับปรุงความแม่นยำในการจัดตำแหน่งและกำลังการผลิตอย่างมีนัยสำคัญ เมื่อเทียบกับรุ่นก่อนหน้า 3600D โดยมีปริมาณงานสูงถึง 195 เวเฟอร์ต่อชั่วโมง ซึ่งสูงกว่า 160 เวเฟอร์ของ 3600D เพิ่มขึ้นเกือบ 22% และคาดว่าจะบรรลุเป้าหมายที่ 220 ชิ้น