Penambahbaikan prestasi sistem Twinscan NXE:3800E ASML

Menurut peta jalan versi 2021 yang dikeluarkan oleh ASML, sistem Twinscan NXE:3800E akan mempunyai peningkatan ketara dalam ketepatan penjajaran dan kapasiti pengeluaran berbanding 3600D generasi sebelumnya, dengan daya pemprosesan sehingga 195 wafer sejam, yang lebih tinggi daripada 160 wafer 3600D Hampir 22%, dan dijangka mencapai sasaran 220 keping.