Peningkatan kinerja sistem Twinscan NXE:3800E ASML

Menurut peta jalan versi 2021 yang dirilis oleh ASML, sistem Twinscan NXE:3800E akan mengalami peningkatan signifikan dalam akurasi penyelarasan dan kapasitas produksi dibandingkan dengan 3600D generasi sebelumnya. Throughputnya dapat mencapai 195 wafer per jam, yang merupakan peningkatan dari 3600D 160 wafer dari 3600D Hampir 22%, dan diharapkan mencapai target 220 buah.