تحسينات أداء نظام Twinscan NXE:3800E من ASML

80
وفقًا لإصدار 2021 من خارطة الطريق الصادرة عن ASML، سيتمتع نظام Twinscan NXE:3800E بتحسينات كبيرة في دقة المحاذاة والقدرة الإنتاجية مقارنة بالجيل السابق 3600D، مع إنتاجية تصل إلى 195 رقاقة في الساعة، وهو أعلى من 160 شريحة من 3600D ما يقرب من 22%، ومن المتوقع أن تصل إلى الهدف وهو 220 قطعة.