بهبود عملکرد سیستم Twinscan NXE:3800E ASML

80
با توجه به نسخه 2021 نقشه راه منتشر شده توسط ASML، سیستم Twinscan NXE:3800E نسبت به نسل قبلی 3600D پیشرفت های قابل توجهی در دقت تراز و ظرفیت تولید خواهد داشت 160 ویفر از 3600D نزدیک به 22٪ و انتظار می رود به هدف 220 برسد.