שיפורי ביצועי מערכת Twinscan NXE:3800E של ASML

על פי גרסת 2021 של מפת הדרכים שפורסמה על ידי ASML, למערכת Twinscan NXE:3800E יהיו שיפורים משמעותיים ברמת דיוק היישור ובכושר הייצור בהשוואה לדור הקודם של 3600D, עם תפוקה של עד 195 פרוסות לשעה, שהיא גבוהה מ- 160 פרוסות של 3600D כמעט 22%, והוא צפוי להגיע ליעד של 220 חתיכות.