清華大學與連科半導體簽署大尺寸碳化矽電阻爐及外延爐計畫合作協議

2023年11月，清華大學與連科半導體簽署了關於大尺寸碳化矽電阻爐及外延爐計畫的合作協議。雙方將共同推動碳化矽電阻爐與外延爐技術的研究與開發，協助中國半導體產業的發展。