清華大学と連科半導体が大型炭化ケイ素抵抗炉とエピタキシャル炉プロジェクトに関する協力協定を締結

2023年11月、清華大学と連科半導体は大型炭化ケイ素抵抗炉とエピタキシャル炉プロジェクトに関する協力協定を締結した。両者は中国の半導体産業の発展を支援するため、炭化ケイ素抵抗炉とエピタキシャル炉技術の研究開発を共同で推進する。