北華荘の第3世代半導体事業が躍進を遂げる

北華荘は第 3 世代半導体事業で躍進を遂げ、6 インチ炭化ケイ素結晶成長炉を月産 300 台の納入能力を持ち、8 インチ炭化ケイ素結晶成長装置を 3 モデル開発し、ほぼ販売しました。炭化ケイ素エピタキシャル炉300台、エッチング装置200台。