光刻機種類及ASML主要機種介紹

光刻機的種類主要分為I-line、KrF、ArF乾法、ArF浸沒式和EUV。其中，EUV是最先進的類型。 ASML的主要型號包括：I-line的XP 400/450系列，對應過程在300~500nm；KrF的XT860/1060，對應過程在180~130nm；ArF乾法的XT1400/1460/1700，對應製程節點13 0~65nm左右；ArF浸沒式的XT1900以及NXT系列，包括NXT1950/1965/1970/1980和NXT2000/2050/2100，對應過程在45nm以下左右。 EUV的主要型號是NXE3400/3600，對應7nm以下。