포토리소그래피 기계 유형 및 주요 ASML 모델 소개

노광기의 종류는 크게 I-line, KrF, ArF 건식, ArF 침지형, EUV로 구분된다. 그 중에서도 EUV가 가장 발전된 형태다. ASML의 주요 모델은 다음과 같습니다: I-line XP 300~500nm 공정에 해당하는 400/450 시리즈, 180~130nm 공정에 해당하는 KrF XT860/1060, 공정 노드 13에 해당하는 XT1400/1460/1700 약 0~65nm; NXT1950/1965/1970/1980 및 NXT2000/2050/2100을 포함한 ArF 침지 XT1900 및 NXT 시리즈는 45nm 미만의 공정에 해당합니다. EUV의 주요 모델은 NXE3400/3600으로 7nm 이하에 해당한다.