Фотолитографийн машины төрөл ба үндсэн ASML загваруудын танилцуулга

Литографийн машинуудын төрлийг голчлон I-line, KrF, ArF хуурай арга, ArF immersion type, EUV гэж хуваадаг. Тэдгээрийн дотроос EUV нь хамгийн дэвшилтэт төрөл юм. ASML-ийн үндсэн загварууд нь: I-line XP 400/450 цуврал, 300~500nm процесст тохирох KrF-ийн XT860/1060, ArF хуурай процессын XT1400/1460/1700, процессын зангилаа 13; Ойролцоогоор 0~65нм; NXT1900 ба NXT цувралууд, үүнд NXT1950/1965/1970/1980 болон NXT2000/2050/2100 нь 45 нм-ээс доош үйл явцтай тохирч байна. EUV-ийн үндсэн загвар нь NXE3400/3600 бөгөөд энэ нь 7 нм-ээс доош хэмжээтэй тохирч байна.