Introdução aos tipos de máquinas de fotolitografia e principais modelos ASML

Os tipos de máquinas de litografia são divididos principalmente em linha I, KrF, método seco ArF, tipo de imersão ArF e EUV. Entre eles, o EUV é o tipo mais avançado. Os principais modelos da ASML incluem: I-line XP Série 400/450, correspondendo ao processo de 300 ~ 500 nm; XT860/1060 da KrF, correspondendo ao processo de 180 ~ 130 nm do processo seco ArF XT1400/1460/1700, correspondendo ao nó de processo 13; Cerca de 0 ~ 65 nm; as séries XT1900 e NXT imersas em ArF, incluindo NXT1950/1965/1970/1980 e NXT2000/2050/2100, correspondem a processos abaixo de 45 nm. O principal modelo do EUV é o NXE3400/3600, que corresponde abaixo de 7nm.