Introduksjon til fotolitografi maskintyper og hoved ASML modeller

Typene litografimaskiner er i hovedsak delt inn i I-line, KrF, ArF tørrmetode, ArF nedsenkingstype og EUV. Blant dem er EUV den mest avanserte typen. ASMLs hovedmodeller inkluderer: I-line XP 400/450-serien, tilsvarende prosessen på 300~500nm KrFs XT860/1060, tilsvarende prosessen på 180~130nm, tørr prosess XT1400/1460/1700, tilsvarende prosessnoden 13; Rundt 0~65nm; ArF nedsenket XT1900 og NXT-serien, inkludert NXT1950/1965/1970/1980 og NXT2000/2050/2100, tilsvarer prosesser under 45nm. Hovedmodellen til EUV er NXE3400/3600, som tilsvarer under 7nm.