Εισαγωγή στους τύπους μηχανών φωτολιθογραφίας και στα κύρια μοντέλα ASML

Οι τύποι λιθογραφικών μηχανών χωρίζονται κυρίως σε I-line, KrF, ArF dry method, ArF immersion type και EUV. Μεταξύ αυτών, το EUV είναι ο πιο προηγμένος τύπος. Τα κύρια μοντέλα της ASML περιλαμβάνουν: I-line XP Σειρά 400/450, που αντιστοιχεί στη διαδικασία των 300~500nm XT860/1060 της KrF, που αντιστοιχεί στη διαδικασία ξηρής διαδικασίας ArF XT1400/1460/1700, που αντιστοιχεί στον κόμβο διαδικασίας 13. Γύρω στα 0~65nm, οι σειρές XT1900 και NXT με εμβαπτισμένες σειρές ArF, συμπεριλαμβανομένων των NXT1950/1965/1970/1980 και NXT2000/2050/2100, αντιστοιχούν σε διεργασίες κάτω των 45 nm. Το κύριο μοντέλο του EUV είναι το NXE3400/3600, το οποίο αντιστοιχεί σε κάτω από 7nm.