Fotolitografi makine tiplerine ve ana ASML modellerine giriş

Litografi makinelerinin türleri esas olarak I-line, KrF, ArF kuru yöntemi, ArF daldırma tipi ve EUV'ye ayrılmıştır. Bunlar arasında EUV en gelişmiş türdür. ASML'nin ana modelleri şunları içerir: I-line XP 400/450 serisi, 300~500 nm prosese karşılık gelir; KrF'nin XT860/1060'ı, 180~130 nm prosese karşılık gelir; ArF kuru proses XT1400/1460/1700, proses düğümü 13'e karşılık gelir Yaklaşık 0~65 nm; ArF daldırılmış XT1900 ve NXT1950/1965/1970/1980 ve NXT2000/2050/2100 dahil NXT serisi, 45 nm'nin altındaki işlemlere karşılık gelir. EUV'nin ana modeli 7 nm'nin altına karşılık gelen NXE3400/3600'dür.