Fotolitografiya mashinalari turlari va asosiy ASML modellari bilan tanishish

Litografiya mashinalarining turlari asosan I-line, KrF, ArF quruq usuli, ArF immersion turi va EUV ga bo'linadi. Ular orasida EUV eng ilg'or turi hisoblanadi. ASML ning asosiy modellariga quyidagilar kiradi: I-line XP 400/450 seriyali, 300 ~ 500nm jarayoniga mos keladigan KrF ning XT860/1060, 180 ~ 130nm ArF quruq jarayoniga mos keladigan, 13-tugunga mos keladi; Taxminan 0 ~ 65nm; ArF suvga cho'mgan XT1900 va NXT seriyalari, jumladan NXT1950/1965/1970/1980 va NXT2000/2050/2100 45nm dan past bo'lgan jarayonlarga to'g'ri keladi. EUV ning asosiy modeli NXE3400/3600 bo'lib, u 7nm dan pastroqqa mos keladi.