Увод у типове фотолитографских машина и главне АСМЛ моделе

Типови литографских машина се углавном деле на И-лине, КрФ, АрФ суву методу, АрФ тип имерзије и ЕУВ. Међу њима, ЕУВ је најнапреднији тип. АСМЛ-ови главни модели укључују: И-лине КСП 400/450, што одговара процесу од 300 ~ 500 нм, што одговара процесу од 180 ~ 130 нм, што одговара процесном чвору 13; Око 0~65нм серије КСТ1900 и НКСТ, укључујући НКСТ1950/1965/1970/1980 и НКСТ2000/2050/2100, одговарају процесима испод 45нм. Главни модел ЕУВ-а је НКСЕ3400/3600, што одговара испод 7нм.