Introducere în tipurile de mașini de fotolitografie și principalele modele ASML

Tipurile de mașini de litografie sunt împărțite în principal în I-line, KrF, metoda uscată ArF, tip de imersie ArF și EUV. Dintre acestea, EUV este cel mai avansat tip. Principalele modele ale ASML includ: I-line XP Seria 400/450, corespunzătoare procesului de 300~500nm KrF XT860/1060, corespunzătoare procesului de 180~130nm ArF uscat, corespunzător nodului de proces 13; Aproximativ 0~65nm, seriile XT1900 și NXT imersate în ArF, inclusiv NXT1950/1965/1970/1980 și NXT2000/2050/2100, corespund proceselor sub 45nm. Modelul principal de EUV este NXE3400/3600, care corespunde sub 7 nm.