Знаёмства з тыпамі машын для фоталітаграфіі і асноўнымі мадэлямі ASML

Тыпы літаграфічных машын у асноўным дзеляцца на I-line, KrF, ArF сухі метад, ArF иммерсионный тып і EUV. Сярод іх EUV - самы прасунуты тып. Асноўныя мадэлі ASML ўключаюць: I-line XP Серыя 400/450, якая адпавядае працэсу XT860/1060 ад KrF, адпавядае працэсу XT1400/1460/1700 па сухім працэсе; Прыкладна 0~65 нм; серыі XT1900 і NXT з апусканнем у ваду, у тым ліку NXT1950/1965/1970/1980 і NXT2000/2050/2100, адпавядаюць працэсам ніжэй за 45 нм. Асноўная мадэль EUV - NXE3400/3600, што адпавядае тэхпрацэсу ніжэй за 7 нм.