Uvod u tipove fotolitografskih strojeva i glavne ASML modele

Vrste litografskih strojeva uglavnom se dijele na I-line, KrF, ArF suhu metodu, ArF imerzivni tip i EUV. Među njima, EUV je najnapredniji tip. Glavni modeli ASML-a uključuju: I-line XP 400/450 serija, koja odgovara procesu od 300~500 nm; KrF-ov XT860/1060, koji odgovara procesu od 180~130 nm; ArF suhi proces XT1400/1460/1700, koji odgovara procesu 13 Oko 0~65 nm; serije XT1900 i NXT uronjene u ArF, uključujući NXT1950/1965/1970/1980 i NXT2000/2050/2100, odgovaraju procesima ispod 45 nm. Glavni model EUV je NXE3400/3600, što odgovara ispod 7nm.