Fotolitograafia masinatüüpide ja peamiste ASML-mudelite tutvustus

Litograafiamasinate tüübid jagunevad peamiselt I-line, KrF, ArF kuivmeetod, ArF immersioontüüp ja EUV. Nende hulgas on EUV kõige arenenum tüüp. ASML-i peamised mudelid on järgmised: I-line XP 400/450 seeria, mis vastab protsessile 300–500 nm KrF XT860/1060, mis vastab protsessile 180–130 nm, kuivprotsess XT1400/1460/1700, mis vastab protsessi sõlmele 13; Umbes 0–65 nm; ArF sukeldatud XT1900 ja NXT seeriad, sealhulgas NXT1950/1965/1970/1980 ja NXT2000/2050/2100, vastavad alla 45 nm protsessidele. EUV põhimudel on NXE3400/3600, mis vastab alla 7nm.