Giới thiệu về các loại máy quang khắc và các mẫu ASML chính

Các loại máy in thạch bản chủ yếu được chia thành phương pháp I-line, KrF, ArF khô, loại ngâm ArF và EUV. Trong số đó, EUV là loại cao cấp nhất. Các model chính của ASML bao gồm: I-line XP Sê-ri 400/450, tương ứng với quy trình 300~500nm; XT860/1060 của KrF, tương ứng với quy trình 180~130nm; Quy trình khô ArF XT1400/1460/1700, tương ứng với nút quy trình 13 Khoảng 0~65nm; dòng XT1900 và NXT nhúng ArF, bao gồm NXT1950/1965/1970/1980 và NXT2000/2050/2100, tương ứng với các quy trình dưới 45nm. Model chính của EUV là NXE3400/3600, tương ứng với quy trình dưới 7nm.