फोटोलिथोग्राफी मशीन के प्रकार और मुख्य एएसएमएल मॉडल का परिचय

लिथोग्राफी मशीनों के प्रकार मुख्य रूप से I-लाइन, KrF, ArF शुष्क विधि, ArF विसर्जन प्रकार और EUV में विभाजित हैं। इनमें EUV सबसे उन्नत प्रकार है। एएसएमएल के मुख्य मॉडलों में शामिल हैं: आई-लाइन एक्सपी 400/450 श्रृंखला, 300~500एनएम की प्रक्रिया के अनुरूप; 180~130एनएम की प्रक्रिया के अनुरूप, एआरएफ सूखी प्रक्रिया XT1400/1460/1700, प्रक्रिया नोड 13 के अनुरूप; लगभग 0~65nm; ArF विसर्जित XT1900 और NXT श्रृंखला, जिसमें NXT1950/1965/1970/1980 और NXT2000/2050/2100 शामिल हैं, 45nm से नीचे की प्रक्रियाओं के अनुरूप हैं। EUV का मुख्य मॉडल NXE3400/3600 है, जो 7nm से नीचे का है।