Pengantar jenis mesin fotolitografi dan model ASML utama

Jenis mesin litografi terutama dibagi menjadi I-line, KrF, metode kering ArF, tipe perendaman ArF dan EUV. Diantaranya, EUV adalah tipe yang paling canggih. Model utama ASML meliputi: I-line XP Seri 400/450, sesuai dengan proses 300~500nm; XT860/1060 KrF, sesuai dengan proses 180~130nm; proses kering ArF XT1400/1460/1700, sesuai dengan node proses 13 Sekitar 0~65nm; ArF membenamkan seri XT1900 dan NXT, termasuk NXT1950/1965/1970/1980 dan NXT2000/2050/2100, sesuai dengan proses di bawah 45nm. Model utama EUV adalah NXE3400/3600, yang setara dengan di bawah 7nm.