Fotolitoqrafiya maşın növlərinə və əsas ASML modellərinə giriş

Litoqrafiya maşınlarının növləri əsasən I-line, KrF, ArF quru üsulu, ArF immersion növü və EUV-yə bölünür. Onların arasında EUV ən qabaqcıl tipdir. ASML-in əsas modellərinə aşağıdakılar daxildir: I-line XP 300~500nm prosesinə uyğun olan 400/450 seriyası, 180~130nm ArF quru prosesinə uyğun, 13 node-a uyğundur; Təxminən 0~65nm; NXT1950/1965/1970/1980 və NXT2000/2050/2100 daxil olmaqla, ArF batırılmış XT1900 və NXT seriyaları 45nm-dən aşağı olan proseslərə uyğundur. EUV-nin əsas modeli NXE3400/3600-dir ki, bu da 7nm-dən aşağıya uyğundur.