מבוא לסוגי מכונות פוטוליתוגרפיה ודגמי ASML עיקריים

סוגי מכונות הליטוגרפיה מחולקים בעיקר ל-I-line, KrF, ArF יבש, סוג טבילה ArF ו-EUV. ביניהם, EUV הוא הסוג המתקדם ביותר. הדגמים העיקריים של ASML כוללים: I-line XP סדרת 400/450, המקבילה לתהליך של 300~500nm XT860/1060, המקביל לתהליך של 180~130nm ArF תהליך יבש XT1400/1460/1700, המתאים לצומת התהליך 13; בסביבות 0~65nm; סדרת XT1900 ו-NXT שקועה ב-ArF, כולל NXT1950/1965/1970/1980 ו-NXT2000/2050/2100, תואמות לתהליכים מתחת ל-45nm. הדגם העיקרי של EUV הוא NXE3400/3600, המתאים מתחת ל-7 ננומטר.