Rapidus, 2nm GAA yarı iletken proses üretimini ilerletmek için ilk ASML EUV litografi makinesini satın aldı

Rapidus, satın aldığı ilk ASML TWINSCAN NXE:3800E litografi makinesinin IIM-1 fabrikasına teslim edilerek kurulumunun yapıldığını duyurdu. Bu, son teknoloji yarı iletkenlerin seri üretimine yönelik Japonya'nın ilk EUV litografi sistemidir. Bu litografi makinesi, Rapidus'un birinci nesil seri üretim prosesi 2nm'nin üretim ihtiyaçlarını karşılayabilmektedir. Önceki NXE:3600D ile karşılaştırıldığında levha verimi %37,5 oranında artmıştır.