Цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний хөгжлийн байдал

Цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээ нь үндсэндээ дөрвөн үндсэн холбоосыг агуулдаг: субстрат, эпитакси, төхөөрөмж, хэрэглээ. Субстрат ба эпитаксиаль холбоосууд нь үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний гол үнэ цэнийг эзэлдэг бөгөөд нийт зардлын 60% -ийг эзэлдэг. Одоогийн байдлаар цахиурын карбидын субстратууд нь цахиурын карбидын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээнд хамгийн өндөр техникийн саадтай тул тэдгээрийг үйлдвэрлэхэд хүндрэлтэй байдаг тул SiC төхөөрөмжүүдийн өртөг өндөр байдаг.