Analyse des difficultés de fabrication de plaquettes SiC de 8 pouces

L'une des difficultés liées à la fabrication de SiC de 8 pouces est la croissance des lingots. Lorsque le diamètre passe de 6 pouces à 8 pouces, la difficulté de croissance des lingots augmente de façon exponentielle. Les exigences de qualité pour les germes de cristaux de 8 pouces sont plus élevées. Dans le même temps, des problèmes tels qu'un champ de température inégal causé par une grande taille, des problèmes de distribution des matières premières en phase gazeuse et d'efficacité du transport, ainsi que la fissuration des cristaux causée par une contrainte accrue, doivent être résolus. résolu.