إنتل تستخدم آلة ASML ذات الفتحة العددية العالية EUV للبحث والتطوير والإنتاج

136
ستكون إنتل أول شركة مصنعة للرقائق تقوم بتجميع أنظمة ASML High NA بشكل كامل، ووضع أجهزتها الخاصة قيد التشغيل في منشأة D1X الخاصة بها في ولاية أوريغون. ستستخدم Intel أولاً أجهزة EXE:5200 High NA الخاصة بها لأغراض البحث والتطوير قبل نقلها إلى الإنتاج على العقدة 14A.