اینتل از دستگاه EUV با دیافراگم عددی بالا ASML برای تحقیق و توسعه و تولید استفاده می کند

136
اینتل اولین تراشه ساز خواهد بود که سیستم های ASML High NA را به طور کامل مونتاژ می کند و ماشین های خود را در تاسیسات D1X خود در اورگان به کار می گیرد. اینتل ابتدا از ماشینهای EXE:5200 High NA خود برای اهداف تحقیق و توسعه استفاده میکند، قبل از اینکه آنها را به تولید در گره 14A برساند.