TSMCは立場を変え、高NA EUVリソグラフィ技術の導入を計画

少なくともASMLの広報担当者モニーク・モース氏によると、数カ月にわたる論争の後、TSMCは態度を変えたようで、同社は今年3億8000万ドル相当の高NA EUVリソグラフィー装置をTSMCに納入すると述べた。このニュースを受けて、ASML株は市場開始後に6％以上上昇した。 Intelは、2025年のIntel 18Aチップの生産に向けて、2022年にそのような装置を5台購入すると発表した。