ASMLは今年、3億8,000万米ドル相当の高NA EUVリソグラフィー装置をTSMCに納入することを確認

オランダの半導体装置メーカーASMLは、今年TSMCに3億8000万ドル相当の高NA EUVリソグラフィー装置を納入することを確認した。この高精度装置は、TSMC のチップ製造プロセスのさらなる改善に役立ちます。