ASML дараагийн үеийн Hyper-NA EUV литографийн машины технологийн зураг төслийг зарлав.

ASML нь шинэ үеийн Hyper-NA EUV литографийн машины техникийн төлөвлөгөөг зарласан бөгөөд одоогоор хөгжлийн эхний шатандаа явж байна. Тус компанийн технологийн ахлах захирал асан Мартин ван ден Бринк хэлэхдээ Hyper-NA EUV литографийн машин нь гэрлийн эх үүсвэрийн системийг сайжруулж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг цагт 400-500 ширхэг хүртэл нэмэгдүүлэх шаардлагатай байна.