ASML anunță proiectul tehnologic pentru mașina de litografie Hyper-NA EUV de generație următoare

ASML a anunțat planul tehnic pentru o nouă generație de mașini de litografie Hyper-NA EUV, care se află în prezent în stadiile incipiente de dezvoltare. Martin van den Brink, fostul director de tehnologie al companiei, a declarat că mașina de litografie Hyper-NA EUV trebuie să îmbunătățească sistemul sursei de lumină și să crească eficiența producției la 400 până la 500 de napolitane pe oră.