ASML yangi avlod Hyper-NA EUV litografiya mashinasi uchun texnologiya rejasini e'lon qiladi

ASML hozirda rivojlanishning dastlabki bosqichida bo'lgan Hyper-NA EUV litografiya mashinasining yangi avlodi uchun texnik loyihani e'lon qildi. Kompaniyaning sobiq bosh texnologiya direktori Martin van den Brinkning aytishicha, Hyper-NA EUV litografiya mashinasi yorug'lik manbalari tizimini takomillashtirish va ishlab chiqarish samaradorligini soatiga 400 dan 500 gacha vafligacha oshirishi kerak.