ASML paskelbė naujos kartos Hyper-NA EUV litografijos mašinos technologijos projektą

ASML paskelbė apie naujos kartos Hyper-NA EUV litografijos aparato, kuris šiuo metu yra ankstyvoje kūrimo stadijoje, techninį projektą. Buvęs bendrovės technologijų vadovas Martinas van den Brinkas teigė, kad Hyper-NA EUV litografijos aparatas turi patobulinti šviesos šaltinių sistemą ir padidinti gamybos efektyvumą iki 400–500 plokštelių per valandą.