एएसएमएल ने अगली पीढ़ी की हाइपर-एनए ईयूवी लिथोग्राफी मशीन के लिए प्रौद्योगिकी ब्लूप्रिंट की घोषणा की

एएसएमएल ने नई पीढ़ी की हाइपर-एनए ईयूवी लिथोग्राफी मशीन के लिए तकनीकी खाका की घोषणा की है, जो वर्तमान में विकास के प्रारंभिक चरण में है। कंपनी के पूर्व मुख्य प्रौद्योगिकी अधिकारी मार्टिन वैन डेन ब्रिंक ने कहा कि हाइपर-एनए ईयूवी लिथोग्राफी मशीन को प्रकाश स्रोत प्रणाली में सुधार करने और उत्पादन क्षमता को 400 से 500 वेफर्स प्रति घंटे तक बढ़ाने की जरूरत है।