ASML công bố kế hoạch chi tiết công nghệ cho máy in thạch bản Hyper-NA EUV thế hệ tiếp theo

ASML đã công bố kế hoạch chi tiết kỹ thuật cho máy in thạch bản Hyper-NA EUV thế hệ mới, hiện đang trong giai đoạn phát triển ban đầu. Martin van den Brink, cựu giám đốc công nghệ của công ty, cho biết máy in thạch bản Hyper-NA EUV cần cải tiến hệ thống nguồn sáng và tăng hiệu suất sản xuất lên 400 đến 500 tấm wafer mỗi giờ.