ASML ประกาศพิมพ์เขียวเทคโนโลยีสำหรับเครื่องพิมพ์หิน Hyper-NA EUV รุ่นต่อไป

ASML ได้ประกาศพิมพ์เขียวทางเทคนิคสำหรับเครื่องพิมพ์หิน Hyper-NA EUV รุ่นใหม่ ซึ่งปัจจุบันอยู่ในขั้นเริ่มต้นของการพัฒนา Martin van den Brink อดีตประธานเจ้าหน้าที่ฝ่ายเทคโนโลยีของบริษัทกล่าวว่าเครื่องพิมพ์หิน Hyper-NA EUV จำเป็นต้องปรับปรุงระบบแหล่งกำเนิดแสงและเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตเป็น 400 ถึง 500 เวเฟอร์ต่อชั่วโมง