湖南三安半導體發布8吋碳化矽單晶材料進度報告
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三安半導體
8吋
和
博士
碳化矽
流量
和
儘管
半
外延
液相法
製程
總經理
良率
量產
速度
湖南
基板
成本
碳化矽
半導體
博士
碳化矽
總經理
產業鏈
加
問
2024-06-27 21:41
55
湖南三安半導體公司總經理助理高玉強博士提出,降低成本是碳化矽產業鏈的關鍵,特別是基板和外延部分。儘管液相法被廣泛提及,氣相法仍是主流量產製程。此外,碳化矽的良率和生長速度仍有待提高。三安半導體的8吋基板加外延損失約4%,且面臨切割難度高的問題。未來,降低厚度將是降低成本的主要方向。
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